发布日期：2026-01-21 02:34    点击次数：154

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆对准方法及其装置、半导体工艺设备”的专利，公开号CN121310948A，申请日期为2025年10月。

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专利摘要显示，本公开提供一种晶圆对准方法及其装置、半导体工艺设备。其中晶圆对准方法包括在第一旋转模式下，响应于电机每旋转第一固定角度，利用拍照设备拍摄晶圆边缘，得到第一局部图像；对第一局部图像进行目标特征点检测，确定目标特征图像；根据目标特征图像，确定目标特征点的第一初始坐标；在第二旋转模式下，控制电机每旋转第二固定角度后停止固定时间，利用拍照设备拍摄晶圆边缘，得到第二局部图像；根据多张第二局部图像，确定晶圆圆心的第二初始坐标；根据第一初始坐标、第二初始坐标和目标对准方向，确定待旋转角度和待调整偏移量；按照待调整偏移量调整晶圆圆心，开云体育app和/或按照目标特征点的待旋转角度旋转目标特征点，以实现晶圆对准。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1347次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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