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开云体育app 北方华创申请晶圆对准方法及其装置专利, 实现晶圆对准

2026-01-21

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆对准方法及其装置、半导体工艺设备”的专利，公开号CN121310948A，申请日期为20

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